高纯气体废弃物和废气的处理需要遵循国家和地方的环保法规，包括安全、无害化和资源化的原则。具体方法如下：
1. 收集和处理: 高浓度气体的泄漏或排放应由专人负责统一回收并储存在的存储设备中；同时要注意包装的完整性（如瓶身是否有裂纹），确保其符合运输和使用的要求 。此外, 应定期检查储存设备的密闭性以确保没有有害物质的泄露污染环境或者进入空气质量系统等地方造成二次环境污染问题。 2 . 无毒低浓度的尾气可通过通风橱排入大气之前行吸附净化后再通过水喷淋达标后才能排出．对于含有可燃性的有毒物质可以采用碱洗吸收再经酸中和净 化后的排气才可能达到允许范围之内。 3. 对于一些的气体在采取有效安全的措施下可以进行燃烧法转化为二氧化碳和水后排到空气中影响不大 4.. 对无法再次利用的高纯度产品应该根据它的性质考虑是否可以深加工成半成品以减少浪费。 总之 ,对 于不同性质的废物要分类处置并且在进行上述操作时必须严格遵守相关规范标准及规定.。
另外 ，有些地区是要求对这些特殊工业残渣有专门处理的机构来承担此项工作以保证环境和人身健康的安全。 希望以上信息可以帮助到您。。但请注意要根据实际情况选择合适的处理方式。
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